一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇：無害，不能對人體或環境造成傷害;質量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;化學性質穩定，不會引起化學反應;氦氣檢漏儀可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；
氦質譜檢漏儀優勢特點：1.采用便攜式設計，2.設備外型美觀小巧，3.采用液晶觸摸屏設計，4.有通訊接口，5.可以方便地將檢漏數據輸出筆者根據實測經驗，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應，則可進行第二次噴氦。氦質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數據精準；自動生成數據保存，可追溯數據來源。
檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，電廠汽輪機氦檢漏，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。氦氣檢漏儀可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；專業定制的的密封接頭，穩定可靠，減少誤判。
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